반도체/디스플레이 | Autonics

OHT(Overhead Hoist Transport) 장비 간의 충돌을 방지합니다.
※ OHT : 천장 레일을 통해 자동으로 웨이퍼를 들고 나르는 장비

정밀한 온도 제어가 필요한 열처리 장비에서 사용되며, 출력 전류를 정확히 제어합니다.

세이프티 그립형 인에이블링 스위치는 장비의 유지 보수 시 위험원 안에서 작업을 수동으로 제어할 수 있어 안전하게 작업할 수 있습니다

단자대를 사용하여 디스플레이 노광기의 주요 장비의 중간 컨트롤러로써 설비를 간단하고 효율적으로 설치할 수 있습니다.

반도체/디스플레이 칠러(Chiller) 장비 내 온도 제어용 PLC 출력 모듈에 단자대를 적용하여 다수의 부하를 효율적으로 제어합니다.

웨이퍼의 평탄도를 측정하거나 웨이퍼 유무 검출이 가능합니다.

디스플레이 이송 공정에서 LCD, OLED 유리 카세트 내 적재된 유리 기판의 유무 및 위치를 검출합니다.

PCB 이송 라인에서 PCB 기판 내 다이오드 및 콘덴서 색상을 판별합니다.

단자대를 이용하여 SMT 장비 내 부하를 안정적으로 스위칭합니다.

정밀한 온도 제어가 필요한 열처리 장비에 사용되며, 출력 전류를 정확히 제어합니다.

세이프티 도어 락 스위치를 이용하여 장비 내 액츄에이터의 동작 시 도어의 잠긴 상태를 유지하며 구동이 멈추고 안전이 확보되면 도어를 열 수 있습니다.

비상 정지 스위치를 이용하여 긴급 상황 시 장비를 정지시킬 수 있습니다.

PCB로더 장비에서 포토 마이크로 센서를 이용하여 이송 트레이의 위치를 검출합니다.

실장이 완료된 PCB를 Pusher를 이용해 적재하는 Boat UnLoader 장비에 부착되어 제어 및 모니터링을 합니다.

이송 장비에 클로즈 루프 스테핑 시스템을 적용하여 웨이퍼 카세트의 이동 및 위치를 제어합니다.

변위센서를 통해 로봇의 위치 제어 시, 로봇형 케이블을 사용하여 단선 걱정 없이 제어가 가능합니다.

세이프티 도어 스위치를 이용하여 장비 내 액츄에이터의 동작 시 도어의 잠긴 상태를 유지하며 구동이 멈추고 안전이 확보되면 도어를 열 수 있습니다.

고온 환경의 웨이퍼 베이킹 공정에서 웨이퍼 검출 용도로 사용합니다.

도어 입구가 많은 생산 공정에서 다수의 세이프티 비접촉 스위치 SFN 시리즈를 통해 각 도어 입구 개폐를 모니터링 할 수 있습니다.

제품을 흡착하여 이송시키는 과정에서 흡착 시 진공 이젝터의 압력을 모니터링하기 위해 PSS 시리즈를 사용합니다.

기판 검출용 포토센서는 PCB 로더에서 홀의 영향을 받지 않고 안정적으로 기판을 검출합니다.